Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство
na/136105337
Автор: В. Ю. Киреев
Язык: Русский
Издательство: Интеллект
Год: 2016
Дополнительные характеристики
Реклама:
Описание:
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 Нанотехнология в электронике, 210104 Микроэлектроника и твердотельная электроника, 222900 Нанотехнология и микросистемная техника, 210600 Нанотехнология, 210100 Электронное машиностроение, а также для инженеров и научных работников.
Отзывы:
Категории:
Учебная литература >Студентам и аспирантам >Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство >Автоматика. Радиоэлектроника. Связь
Нехудожественная литература >Научная и техническая литература >Техника. Технические науки >Радиоэлектроника, радиотехника, связь >Микроэлектроника, интегральные схемы