Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник
os/135731925
Автор: В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков
Язык: Русский
Издательство: Юрайт
Год: 2016
Дополнительные характеристики
Реклама:
Описание:
Серия Университеты России позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям Проектирование и технология электронных устройств, Проектирование и технология радиоэлектронных средств, Конструирование и технология радиоэлектронных средств и Микроэлектроника, может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.