Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник
os/135731923
Автор: И. В. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков
Язык: Русский
Издательство: Юрайт
Год: 2016
Дополнительные характеристики
Реклама:
Описание:
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающимся по специальностям Проектирование и технология электронных устройств, Проектирование и технология радиоэлектронных средств и Электронные приборы, может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.