Техническая механика микросистем
te/4747034
Язык: Русский
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2011
Дополнительные характеристики
Реклама:
Описание:
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) Микросистемная техника и Микроэлектроника и твердотельная электроника. Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.