Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники. Учебник
te/35143841
Автор: Е. Н. Ивашов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, С. В. Степанчиков
Язык: Русский
Издательство: Юрайт
Год: 2016
Дополнительные характеристики
Реклама:
Описание:
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др.
Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования.
Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован инженерно-техническими и научными работниками при конструировании оборудования и приборов для работы в условиях пониженного атмосферного давления и вакуума, а также дестабилизирующего воздействия факторов космического пространства.