va/136287879
Автор: А. А. Ильин, В. В. Плихунов, Л. М. Петров, В. С. Спектор
Язык: Русский
Издательство: Альфа-М, Инфра-М
Год: 2016
Дополнительные характеристики
Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных нано-структурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке.
Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров Материаловедение и технологии материалов.